Microscópio Eletrônico de Varredura Schottky de Ultra Alta Resolução SU7000

O MEV-FEG moderno exige não apenas alto desempenho, mas também uma série de funcionalidades essenciais. Entre elas, destacam-se a observação de áreas amplas, a análise in-situ, a pressão variável, a geração de imagens de alta resolução com baixas tensões de aceleração e a coleta simultânea de múltiplos sinais. Com isso, o SU7000 foi projetado para atender a todas essas necessidades, fornecendo informações aprimoradas para diversos campos da microscopia eletrônica.

Características

Conceito chave

Capacidade de Imagem Versátil

O SU7000 se destaca pela sua habilidade em adquirir múltiplos sinais de forma rápida, o que atende a uma variedade de necessidades do SEM. Enquanto isso, ele permite a geração de imagens de amplos campos de visão e, simultaneamente, facilita a visualização de estruturas subnanométricas. Além disso, a incorporação de sistemas óticos e de detecção de elétrons avançados possibilita a captura simultânea de sinais de elétrons secundários e retroespalhados, o que melhora a eficiência da coleta de dados.

Imagiologia Multicanal

À medida que o número de detectores montados no SEM aumenta, cresce também a necessidade de exibir essas informações de maneira eficiente. Por conseguinte, o SU7000 é capaz de processar, exibir e salvar até seis sinais simultaneamente, o que garante a aquisição abrangente de dados sem comprometer a qualidade.

Grande Variedade de Técnicas de Observação

A câmara de amostra e o sistema de vácuo do SU7000 foram projetados para oferecer flexibilidade em diversas condições de operação. Consequentemente, o sistema é ideal para a análise de amostras em situações como:

• Acomodação de amostras grandes
• Manipulação em múltiplos eixos
• Condições de pressão variável
• Condições criogênicas
• Observação in-situ com aquecimento e resfriamento

Assim, o SU7000 oferece um alto grau de precisão, mesmo em diferentes condições experimentais.

Microanálise

O canhão de elétrons do SU7000 vem equipado com um emissor Schottky, fornecendo até 200 nA de corrente de feixe. Esse aspecto permite realizar várias aplicações de microanálise. Além disso, a câmara de amostra e o layout das portas foram projetados para permitir o uso de várias técnicas analíticas, como EDX, WDX, EBSD e catodoluminescência. Dessa maneira, o SU7000 integra diversas técnicas analíticas em uma única plataforma.

Desempenho de Imagem

Aquisição Aprimorada de Informações

O sistema de detecção avançado do SU7000 facilita a captura de informações estruturais, topográficas, composicionais e cristalográficas, sem a necessidade de ajustes constantes nas condições do microscópio. Em razão disso, isso assegura imagens de alta qualidade durante toda a análise, mesmo com alterações mínimas na distância de trabalho ou tensão de aceleração.

Imagem Multisinal de Varredura Única

Espécime: hastes de ouro com revestimento orgânico (amostra cortesia do Sr. Smart e Sra. Je, Departamento de Química, Vassar College).

Ao usar o SU7000, é possível adquirir imagens simultâneas, o que proporciona informações detalhadas sobre a microestrutura da superfície (UD), o revestimento (MD) e as características topográficas gerais (LD). Além disso, essa captura ocorre com uma tensão de aceleração de apenas 1 kV, o que contribui para a geração de imagens de alta qualidade com uma aceleração reduzida.

Interface de Usuário Gráfica Intuitiva

• Exibição de sinal aprimorada
• Modos de exibição personalizáveis
• Configurações de monitor único e duplo
• Exibição simultânea de até quatro canais (simples) ou seis canais (duplo)
• Câmera Scope e SEM MAP para navegação no palco óptico
• Layout de tela altamente flexível

Portanto, o software do SU7000 permite exibir até quatro sinais simultaneamente, incluindo imagens da câmera ou SEM MAP, oferecendo uma visualização completa e personalizada. Além disso, o painel de operação pode ser ajustado conforme as preferências do usuário, garantindo uma experiência de uso otimizada.

Monitor Duplo

A configuração com dois monitores aumenta a produtividade, proporcionando mais espaço para a visualização e o controle das operações. Dessa forma, o primeiro monitor pode ser utilizado exclusivamente para exibir a imagem, enquanto o segundo é utilizado para operação do sistema. Isso facilita a visualização e melhora a eficiência operacional.

Observação e Análise Expansíveis

Grande Câmara de Amostras e Platô Grande

O SU7000 é capaz de acomodar espécimes de até φ 200 mm na sua câmara de amostras, que também possui 18 portas acessórias. Além disso, a platina grande oferece um deslocamento de 135 mm no eixo X e 100 mm no eixo Y, permitindo a acomodação de espécimes de até 2 kg. Isso amplia as opções de análise, permitindo a manipulação de amostras maiores ou subestágios variáveis.

Navegação da Câmera

A função opcional de navegação da câmera facilita a correlação entre a imagem capturada pela câmera instalada e a área de observação do alvo. Consequentemente, ao transferir a imagem para a tela SEM MAP, o usuário consegue localizar a área de interesse com mais facilidade, garantindo precisão na navegação. A função de navegação da câmera suporta amostras de até φ 100 mm, oferecendo uma ampla área de observação.

Sistema de Detecção para Observação Dinâmica

O SU7000 foi projetado para operar sob diversas condições ambientais. Graças a uma variedade de detectores disponíveis, como UVD, MD e PD-BSED, o sistema facilita a observação em condições de baixo vácuo. Portanto, isso permite que o SU7000 forneça resultados precisos, independentemente do ambiente de operação, ampliando a versatilidade do sistema.

Seleção de Detector em Condições de Baixo Vácuo

Amostra: fibra com óxido metálico.
À esquerda: imagem MD (elétrons retroespalhados).
À direita: UVD (imagem SE).

Dessa maneira, o SU7000 permite observar a dispersão do óxido e o estado de estratificação da fibra, fornecendo uma análise detalhada das amostras.

Velocidade de Resposta PD-BSED Aprimorada

À esquerda: resposta PD-BSED tradicional, com taxa de varredura de 30 ms x 64 quadros.
À direita: imagem SU7000, demonstrando melhor resposta e qualidade de imagem.

Em resumo, o SU7000 expande significativamente a capacidade de observação in-situ, permitindo que o usuário obtenha dados mais detalhados e precisos em tempo real.