A EPMA atua bombardeando um microvolume de uma amostra com um feixe de elétrons focado (energia típica = 5-30 keV) e coletando os fótons de raios X emitidos pelas várias espécies elementares. Como os comprimentos de onda desses raios X são característicos das espécies emissoras, a composição da amostra pode ser facilmente identificada pelo registro dos espectros de WDS (Espectroscopia por Dispersão de Comprimento de Onda). Os espectrômetros WDS operam com base na lei de Bragg e usam vários monocristais de formato móvel, como monocromadores.
A EPMA é um método qualitativo e quantitativo de análise elementar não destrutiva de volumes de tamanho micrométrico na superfície dos materiais, com sensibilidade em nível de ppm. A quantificação de rotina até 1% de reprodutibilidade é obtida ao longo de vários dias. Ela é a mais precisa e exata técnica de microanálise disponível e todos os elementos de B a U e acima podem ser analisados.
A EPMA é totalmente compatível com sessões de análise de rotina, com interpretação fácil e direta dos resultados.
Os instrumentos de EPMA são equipados com um kit completo de ferramentas de microscopia incorporado, o que permite a geração simultânea de imagens de raios X (WDS e EDS), SEM e BSE, mais uma sofisticada óptica de luz visível. Estes possibilitam uma inspeção muito flexível da amostra com a ampliação de imagem variando de 40 a 400.000.
É possível a determinação da espessura e composição elementar de camadas de espessuras que vão de de nm a mm em materiais estratificados.
As principais aplicações são encontradas na geoquímica, mineralogia, geocronologia, metalurgia física, metalurgia nuclear, ciência dos materiais, incluindo vidro, cerâmica, supercondutores, cimentos, microeletrônica, bioquímica…
A EPMA fornece resultados muito melhores do que os sistemas-padrão SEM/EDS. Por causa das propriedades internas da WDS, a sensibilidade geral, a análise de elementos leves e dos riscos de interpretação errônea dos espectros qualitativos são todos de qualidade superior com a EPMA. A resolução espectral e o tempo morto do detector são muito melhores do que os da EDS (Espectroscopia de Energia Dispersiva).O sistema de regulação do feixe de excitação e sofisticados recursos da plataforma de amostragem garantem que esta técnica proporcione uma excelente estabilidade e repetibilidade da medição.
CAMECA: pioneira e líder mundial em EPMA
A EPMA está vinculada à CAMECA desde que esta técnica apareceu pela primeira vez em escala industrial. Trabalhando em estreita colaboração com o Prof. R. Castaing da Universidade de Paris e com base em sua pesquisa, a CAMECA introduziu o seu MicroProbe MS85 no mercado já em 1958. O reconhecimento mundial veio rapidamente e este instrumento tem se beneficiado desde então com melhorias contínuas e adaptação aos novos desafios analíticos.
