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SU3800 / SU3900 – MEV COM PRESSÃO VARIÁVEL

SU3800 / SU3900 – MEV COM PRESSÃO VARIÁVEL

Desempenho e potência em uma plataforma flexível

Os microscópios eletrônicos de varredura da Hitachi, modelos SU3800SU3900, oferecem operacionalidade e expansibilidade. O operador pode automatizar muitas operações e utilizar eficientemente seu alto desempenho. O SU3900 está equipado com uma câmara de amostra grande multiuso para acomodar a observação de amostras grandes.

 

Recursos

  1. Câmara de amostra consideravelmente maior acomoda amostras grandes e pesadas

Estágio robusto para flexibilidade no tamanho, forma e peso da amostra

 

  • A sequência de troca de amostras evita possíveis danos ao sistema ou à amostra.
  • Troque as amostras sem ventilar a câmara de amostras, melhorando o rendimento.
  • Aumente a manipulação de amostras com o modo Stage Free *.
  • A câmera de visualização de amostra aumenta a segurança dos movimentos do estágio *.

 

Maior área de visualização – SEM MAP expande os limites da navegação de amostra

 

  • Visor integrado da câmera
  • Navegue facilmente por toda a área observável
  • Rotação orientada ao detector

 

 

  1. Evolução do mercado – funções automáticas aprimoradas para operadores de qualquer nível de habilidade

Vários modos de operação

 

Funções automáticas para operadores de qualquer nível de habilidade

  • Algoritmos automáticos aprimorados – três vezes mais rápido (em comparação com o Hitachi Modelo S-3700N)
  • Função aprimorada de foco automático
  • Recursos de nossa tecnologia de filamentos inteligentes (IFT):

 

O Multi Zigzag permite a junção de imagens de consecutivas áreas varridas em uma única imagem com amplo campo de visão, e em diversos pontos da amostra.

 

Report Creator gera relatórios de dados adquiridos.

 

 

  1. Soluções integradas para várias aplicações

Detectores de alta sensibilidade compatíveis com todos os requisitos de observação

  • Observação de Catodo Luminescência usando UVD *
  • BSED segmentado permite visualizar composição e topografia.

 

Grande quantidade de acessórios montáveis

Uma variedade de acessórios montáveis em qualquer uma das 20 portas da câmara de amostras inovadora do SU3900 permite adição de técnicas de análise complementares.

Sistema de integração SEM / EDS *

Integração de espectro em único software disponível.

Software de modelagem 3D: Hitachi Map 3D *

Software de processamento, medição e análise de imagem: Image-Pro for Hitachi

*opcional

 

  1. Câmara de amostra substancialmente maior acomoda amostras grandes e pesadas 

Estágio robusto para flexibilidade no tamanho, forma e peso da amostra

O SU3800 conta com um estágio para amostras de até 200mm de diâmetro, enquanto o SU3900 com sua câmara extra grande consegue acomodar amostras de até 300mm de diâmetro.

  • A sequência de troca de amostras evita possíveis danos ao equipamento ou à amostra.

O procedimento para a troca de amostras pode ser realizado consultando a interface gráfica do usuário para evitar o risco de danos devido a erro humano, mesmo com amostras irregulares ou grandes.

 

  • Specimen Exchange Chamber *

Troque as amostras sem ventilar a câmara de amostras, melhorando o rendimento.

  • Aumente a manipulação da amostra com a função Cancelamento de restrição de movimento do estágio *.

O SU3800 / SU3900 pode ser configurado com a função Cancelamento de restrição de movimento do estágio *, que aumenta a flexibilidade do movimento do estágio. O operador pode mover o estágio com base em seus requisitos de imagem, sem restrições.

 

  • A câmera de visualização de amostra aumenta a segurança dos movimentos do estágio *.

Ao usar uma câmera infravermelha, o interior da câmara de amostra pode ser monitorado durante a observação da imagem de varredura. Também é possível ampliar a imagem da câmara e visualizar a posição da amostra mais claramente.

*opcional

 

Maior área de visualização – SEM MAP expande os limites da navegação de amostra

  • Câmera integrada

O SEM MAP, agora na câmara, oferece navegação de uma câmera grande angular* na interface gráfica do usuário. Ao especificar a posição de destino da observação no SEM MAP, o operador pode mover o estágio perfeitamente para qualquer posição dentro da área observável e alternar de um amplo campo de visão da imagem colorida para uma imagem MEV de alta ampliação, aumentando e diminuindo o zoom livremente. Qualquer imagem pode ser importada e utilizar esse recurso.

*opcional

 

  • Navegue facilmente por toda a área observável

As imagens SEM MAP de área ampla são obtidas costurando inúmeras imagens. Navegue para qualquer local das áreas observáveis, 127 mm dia./200 mm dia. (SU3800 / SU3900) com um único clique. Se necessário, o estágio girará automaticamente durante a navegação.

 

  • Rotação orientada para o detector

A interface gráfica do usuário facilita a compreensão visual da orientação entre a amostra e os detectores, permitindo que o operador navegue sem problemas pelas regiões de interesse, incorporando rotação. Durante a observação / análise de amostras com irregularidades topográficas, a rotação do estágio e a direção da varredura enquanto olha para o SEM MAP reduz desafios, como a influência das sombras.

 

 

  1. Evolução do mercado – funções automáticas aprimoradas para operadores de qualquer nível de habilidade

 

Vários modos de operação

Apresenta uma interface gráfica do usuário, oferecendo fácil operação e flexibilidade por:

  • Capacidade de controlar a navegação porta amostras no estágio e as condições de observação utilizando o mouse
  • Usando tela sensível ao toque e / ou painel de controle
  • Janela principal grande de 1280 x 960 pixels
  • Exibição simultânea para diferentes tipos de sinais

 

Funções automáticas para operadores de qualquer nível de habilidade 

  • Navegue facilmente por toda a área observável (em comparação com o Hitachi Modelo S-3700N)

Após a conclusão da configuração da amostra, vários ajustes de imagem (AFS / ABCC / AFC / ASC) são automatizados, para que imagens de amostra possam ser adquiridas imediatamente após o início da observação.

 

Funções automatizadas:

AFS = Saturação do Filamento

ABCC = Correção de Contraste e Brilho

AFC = Correção de Foco

ASC = Correção do Astigmatismo

 

Graças às funções automáticas de alta velocidade baseadas em novos algoritmos de design, o tempo para executar as funções de ajuste automático de imagem é 3 vezes menor em comparação ao modelo anterior. A aquisição de dados de alta qualidade está mais rápida do que nunca!

 

 

  • Função aprimorada de foco automático

O algoritmo aprimorado de foco automático agora facilita ainda mais a aquisição rápida de imagens de alta qualidade, especialmente para amostras planas.

 

 

 

  • Recursos de nossa tecnologia proprietária de filamentos inteligentes (IFT):

  • O monitoramento e o controle automático da condição do filamento garantem uma longa vida útil.
  • Monitoramento e feedback em tempo real exibem a vida útil restante do filamento.

Com essa função, o operador pode usar o dispositivo com confiança, mesmo para observação contínua a longo prazo, como análise de partículas.

 

 

 

Função Multi Zigzag permite a junção de imagens de consecutivas áreas varridas em uma única imagem com amplo campo de visão em diversos pontos da amostra, possibilitando a visualização de uma grande área com alta resolução.

 A função Zigzag permite a aquisição automática de um campo de visão contínuo, em vários locais no estágio de amostra, permitindo a aquisição de várias imagens de alta Magnificação em regiões de interesse selecionáveis pelo usuário. Essas imagens podem ser montadas para criar micrografias densas em pixels, conectando as imagens adquiridas com a função Visualizador.

*opcional

 

  • Report Creator gera relatórios de dados adquiridos

Com o Report Creator o usuário pode exportar dados para modelos personalizáveis, não apenas para imagens de varredura, mas também imagens de câmera CCD e dados de EDS.

Os relatórios criados podem ser salvos e editados em qualquer formato do Microsoft® Office.

 

 

  1. Soluções integradas para várias aplicações

 

Observação de CL usando UVD *

O SU3800 / SU3900 possui um UVD (Ultra Variable-Pressure detector) de alta sensibilidade. O UVD pode adquirir imagens e informações de CL com informações de elétrons secundários, detectando a luz gerada por colisões de elétrons secundários e moléculas de gás residual aceleradas por um eletrodo polarizado.

 

 

  • BSED segmentado permite visualizar composição e topografia

Com um design de 5 segmentos, é possível observar imagens de composição, imagens 3D e imagens topográficas de 4 direções sem rotação da amostra. Devido ao design e à alta sensibilidade do detector, é possível obter imagens de alta resolução com relação de sinal/ruído aprimorada.

 

 

Uma variedade de acessórios montáveis em qualquer uma das 20 portas da câmara de amostras inovadora SU3900.

O SU3900 possui uma grande câmara de amostras multiuso para acomodar a observação de amostras grandes.

 

 

Sistema de integração MEV / EDS *

O recém-desenvolvido sistema de integração MEV / EDS unifica a localização do estágio, a configuração da condição, a análise, os relatórios e uma série de operações da interface gráfica do usuário do SU3800 / SU3900. Controlar tudo, desde a interface gráfica do usuário, melhora o rendimento e reduz as tarefas do operador.

*opcional

 

Software de modelagem 3D: Hitachi Map 3D *

 O Hitachi Map 3D combina automaticamente 4 imagens adquiridas de diferentes direções usando o detector de elétrons retroespalhados para construir um modelo 3D. São possíveis medições como altura entre dois pontos, volume e rugosidade simples da superfície (rugosidade da área, rugosidade da linha etc.). Como todos os dados de elétrons retroespalhados são coletados em uma única aquisição, não é necessário inclinar a amostra ou ajustar o campo de visão.

 

Software de processamento, medição e análise de imagem: Image-Pro for Hitachi

 O SU3800 / SU3900 possui IPI, que transfere imagens de varredura para um software avançado de processamento de imagens (Image-Pro® fabricado pela Media Cybernetics Inc.). O operador pode transferir dados de imagens MEV para um sofisticado software de análise de imagens com apenas um clique.

 

 

Para conhecer outros microscópios da Hitachi, clique aqui.

 

Quer saber mais sobre outros assuntos? Acesse nosso blog!

 

 

Item Características do Produto
SU3800 SU3900
Resolução Elétrons secundários 3.0 nm (tensão de aceleração: 30 kV, WD=5 mm, modo alto vácuo)
15.0 nm (tensão de aceleração: 1 kV, WD=5 mm, modo alto vácuo)
Resolução Elétrons retroespalhados 4.0 nm (tensão de aceleração: 30 kV, WD=5 mm, modo baixo vácuo)
Magnificação ×5 a ×300,000 (magnificação da imagem*1)
×7 a ×800,000 (magnificação do display LCD*2)
Tensão de aceleração 0.3 kV a 30 kV
Configuração do modo de baixo vácuo 6 a 650 Pa
Deslocamento de Imagem ± 50 µm (WD=10 mm)
Tamanho Máximo de Amostra Φ 200 mm Φ 300 mm
Estágio de Amostra X 0 a 100 mm 0 a 150 mm
Y 0 a 50 mm 0 a 150 mm
Z 5 a 65 mm 5 a 85 mm
R 360° em modo contínuo
T -20 a +90°
Faixa móvel máxima Φ 130 mm (in combination with R) Φ 200 mm (in combination with R)
Altura móvel máxima 80 mm (WD= 10 mm) 130 mm (WD= 10 mm)
Motorização 5-eixos
Ótica Eletrônica Canhão de Elétrons Cartucho Filamento de tungstênio pré-centralizado tipo Hairpin
Abertura de lente objetiva Abertura móvel de 4 furos
Detectores Detector de elétrons secundários, detector de elétrons retroespalhados semicondutor sensível
WD apara análise EDX WD=10 mm (T.O.A=35°)
Exibição de imagem Função de alinhamento de eixo automático Controle do feixe: auto (AFS→ABA→AFC→ABCC)
Ajuste óptico do eixo: automático (alinhamento de corrente)
Brilho do feixe: automático
Função de ajuste automático de imagem Controle automático de brilho e contraste (ABCC)
Controle de foco automático (AFC)
Auto astigmatismo e foco (ASF)
Auto saturação de filamento (AFS)
Alinhamento automático de feixe (ABA)
Início automático (HV-ON → ABCC → AFC)
Função Auxiliar de Operação Rotação de varredura, foco dinâmico, função de aprimoramento de imagem, Entrada de dados (medição ponto a ponto, medição de ângulo, textos), ampliação predefinida, função de navegação de posicionamento de estágio (SEM MAP), função de marcação de feixe
Função opcional ■ Hardware: Track ball, Joystick, Painel de operação, Compressor, Detector de baixo vácuo ultra-sensível (UVD), câmera interna, sistema de navegação por câmera ■ Software: Gerenciador de dados MEV, Interface de comunicação externa, captura 3D, modo estágio livre, integração EDS
Opções (para dispositivos externos) Espectrometria de raios X de energia dispersiva (EDS), Espectrometria de raios X por comprimento de onda (WDS), vários estágios externos (estágio de aquecimento, estágio de resfriamento, estágio de tração)
  1. Ampliação definida com 127 mm x 95 mm (tamanho da imagem de 4 “x 5”) como tamanho de exibição.
  2. Ampliação definida com 509,8 mm x 286,7 mm (1.920 x 1.080 pixels) como tamanho de exibição.

 

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