A linha de fluorescência de Raio X (XRF) da Hitachi traz o que há de mais revolucionário em análise RoHS e medidas de espessura. Seu detector de alta contagem e a seco permite análises de amostras com mapeamento ultra rápido, medidas de multi-ponto continuamente, alta precisão espacial, medidas de espessura microscópicas, inspeção de metais pesados (RoHS), análise de contaminação e de elementos leves. Equipado com sistema automático de aproximação da amostra, previne danos ao detector garantindo seu funcionamento por muito tempo. Possui câmera CCD de alta resolução e até 6 filtros selecionáveis através de software.